| 第 11回受賞者 (平成10年6月受賞) | ||
|---|---|---|
| 氏 名 | 所属機関 | 研究テーマ |
| 和泉 亮 | 北陸先端科学技術大学院大学 | シリコン集積回路用ゲート絶縁膜の低温形成に関する研究 |
| 式田 光宏 | 名古屋大学 | Si基板上へのマイクロメカトロニクスシステムの構築に関する研究 |
| 藤巻 真 | 早稲田大学 | Ge添加SiO2ガラスにおける紫外光誘起構造変化の生成機構の解明に関する研究 |
| 船戸 充 | 京都大学 | ZnSe-GaAs原子価不整合系ヘテロ構造の有機金属気相成長と界面物性制御に関する研究 |
敬称略,所属機関は受賞当時のもの
| 第 11回受賞者 (平成10年6月受賞) | ||
|---|---|---|
| 氏 名 | 所属機関 | 研究テーマ |
| 和泉 亮 | 北陸先端科学技術大学院大学 | シリコン集積回路用ゲート絶縁膜の低温形成に関する研究 |
| 式田 光宏 | 名古屋大学 | Si基板上へのマイクロメカトロニクスシステムの構築に関する研究 |
| 藤巻 真 | 早稲田大学 | Ge添加SiO2ガラスにおける紫外光誘起構造変化の生成機構の解明に関する研究 |
| 船戸 充 | 京都大学 | ZnSe-GaAs原子価不整合系ヘテロ構造の有機金属気相成長と界面物性制御に関する研究 |
敬称略,所属機関は受賞当時のもの